标准编号：GB/T 19922-2005

中文名称：硅片局部平整度非接触式标准测试方法

英文名称：Standard test methods for measuring site flatness on silicon wafers by noncontact scanning

发布日期：2005-09-19

实施日期：2006-04-01

代替标准：

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：