标准编号：GB/T 20176-2006

中文名称：表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度

英文名称：Surface chemical analysis-Secondary-ion mass spectrometry-Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials

发布日期：2006-03-27

实施日期：2006-11-01

代替标准：

标准类别：

采标号：ISO 14237:2000

采标名称：表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：