标准编号：GB/T 20175-2006

中文名称：表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法

英文名称：Surface chemical analysis-Sputter depth profiling-Optimization using layered systems as reference materials

发布日期：2006-03-27

实施日期：2006-11-01

代替标准：

标准类别：

采标号：ISO 14606:2000

采标名称：表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：