标准编号：GB/T 11073-2007

中文名称：硅片径向电阻率变化的测量方法

英文名称：Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices

发布日期：2007-09-11

实施日期：2008-02-01

代替标准：GB/T 11073-1989

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：