GB/T 21287-2007
国家标准

标准编号:GB/T 21287-2007

中文名称:电子工业用气体 三氟化氮

英文名称:Gases for electronic industry - Nitrogen trifluoride

发布日期:2007-12-14

实施日期:2008-07-01

代替标准:

标准类别:

采标号:None

采标名称:None

采标程度:

采标类型:

ICS:

CCS: