标准编号:GB/T 21287-2007
中文名称:电子工业用气体 三氟化氮
英文名称:Gases for electronic industry - Nitrogen trifluoride
发布日期:2007-12-14
实施日期:2008-07-01
代替标准:
标准类别:
采标号:None
采标名称:None
采标程度:
采标类型:
ICS:
CCS: