标准编号：DB23/T 1526-2013

中文名称：光学气浮隔微振平台技术基本要求

英文名称：

发布日期：2013-10-11

实施日期：2013-11-11

代替标准：None

标准类别：基础标准

采标号：

采标名称：

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：