标准编号：GB/T 24468-2009

中文名称：半导体设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范

英文名称：Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability, availability, and maintainability(RAM)

发布日期：2009-10-15

实施日期：2009-12-01

代替标准：

标准类别：

采标号：SEMI E10-0304:2004

采标名称：设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：