标准编号：GB/T 14144-2009

中文名称：硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法

英文名称：Testing method for determination of radial interstitial oxygen variation in silicon

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

代替标准：GB/T 14144-1993

标准类别：

采标号：SEMI MF 1188-1105

采标名称：用红外吸收法测量硅中间隙氧原子含量的标准方法

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：