标准编号：GB/T 14140-2009

中文名称：硅片直径测量方法

英文名称：Test method for measuring diameter of semiconductor wafer

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

代替标准：GB/T 14140.1-1993,GB/T 14140.2-1993

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：