标准编号：GB/T 24582-2009

中文名称：酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质

英文名称：Test method for measuring surface metal contamination of polycrystalline silicon by acid extraction-inductively coupled plasma mass spectrometry

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

代替标准：

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：