标准编号：GB/T 24581-2009

中文名称：低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的测试方法

英文名称：Test method for low temperature FT-IR analysis of single crystal silicon for Ⅲ-Ⅴ impurities

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

代替标准：

标准类别：

采标号：SEMI MF 1630-0704

采标名称：低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的测试方法

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：