标准编号：GB/T 1554-2009

中文名称：硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法

英文名称：Testing method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

代替标准：GB/T 1554-1995

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：