标准编号：GB/T 24580-2009

中文名称：重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法

英文名称：Test method for measuring boron contamination in heavily doped n-type silicon substrates by secondary ion mass spectrometry

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

代替标准：

标准类别：

采标号：SEMI MF 1528-1104

采标名称：用二次离子质谱法测量重搀杂N型硅衬底中的硼污染的方法

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：