标准编号：GB/T 24579-2009

中文名称：酸浸取 原子吸收光谱法测定多晶硅表面金属污染物

英文名称：Test method for measuring surface metal contamination of polycrystalline silicon by acid extraction-atomic absorption spectroscopy

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

代替标准：

标准类别：

采标号：SEMI MF1724-1104

采标名称：采用酸萃取 原子吸收光谱法测量多晶硅表面金属沾污

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：