标准编号:GB/T 24576-2009
中文名称:高分辩率X射线衍射测量GaAs衬底生长的AlGaAs中Al成分的试验方法
英文名称:Test method for measuring the Al fraction in AlGaAs on GaAs substrates by high resolution X-ray diffraction
发布日期:2009-10-30
实施日期:2010-06-01
代替标准:
标准类别:
采标号:SMEI M63-0306
采标名称:准则:采用高分辨率X光衍射法测量砷化镓衬底上AlGaAs中Al百分含量的测试方法
采标程度:
采标类型:
ICS:
CCS: