标准编号：GB/T 24577-2009

中文名称：热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物

英文名称：Test methods for analyzing organic contaminants on silicon wafer surfaces by thermal desorption gas chromatography

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

代替标准：

标准类别：

采标号：SEMI MF1982-1103

采标名称：热解吸附气相色谱法评估硅片表面有机污染物的方法

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：