标准编号：GB/T 1551-2009

中文名称：硅单晶电阻率测定方法

英文名称：Test method for measuring resistivity of monocrystal silicon

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

代替标准：GB/T 1551-1995,GB/T 1552-1995

标准类别：

采标号：SEMI MF 84-1105、SEMI MF 397-11

采标名称：硅片电阻率测定四探针法、硅棒电阻率测定两探针法

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：