标准编号：GB/T 24575-2009

中文名称：硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法

英文名称：Test method for measuring surface sodium,aluminum,potassium,and iron on silicon and epi substrates by secondary ion mass spectrometry

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

代替标准：

标准类别：

采标号：SEMI MF 1617-0304

采标名称：二次离子质谱法测定硅和硅外延衬底表面上钠、铝和钾

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：