标准编号：GB/T 24574-2009

中文名称：硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法

英文名称：Test methods for photoluminescence analysis of single crystal silicon for III-V impurities

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

代替标准：

标准类别：

采标号：SEMI MF1389-0704

采标名称：Ⅲ－Ⅴ号混杂物中对单晶体硅的光致发光分析的测试方法

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：