标准编号：GB/T 6616-2009

中文名称：半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法

英文名称：Test methods for measuring resistivity of semiconductor wafers or sheet resistance of semiconductor films with a noncontact eddy-current gauge

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

代替标准：GB/T 6616-1995

标准类别：

采标号：SEMI MF673-1105

采标名称：用非接触涡流法测定半导体硅片电阻率和薄膜薄层电阻的方法

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：