标准编号：GB/T 1558-2009

中文名称：硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法

英文名称：Test method for substitutional atomic carbon concent of silicon by infrared absorption

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

代替标准：GB/T 1558-1997

标准类别：

采标号：SEMI MF 1391-0704

采标名称：硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：