标准编号：GB/T 6619-2009

中文名称：硅片弯曲度测试方法

英文名称：Test methods for bow of silicon wafers

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

代替标准：GB/T 6619-1995

标准类别：

采标号：SEMI MF534-0706

采标名称：硅片弯曲度测试方法

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：