标准编号：GB/T 13388-2009

中文名称：硅片参考面结晶学取向X射线测试方法

英文名称：Method for measuring crystallographic orientation of flats on single-crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

代替标准：GB/T 13388-1992

标准类别：

采标号：SEMI MF847-0705

采标名称：硅片参考面晶向X射线测试方法

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：