标准编号：GB/T 13387-2009

中文名称：硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法

英文名称：Test method for measuring flat length wafers of silicon and other electronic materials

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

代替标准：GB/T 13387-1992

标准类别：

采标号：SEMI MF671-0705

采标名称：硅及其它电子材料晶片参考面长度测试方法

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：