标准编号：GB/T 6617-2009

中文名称：硅片电阻率测定 扩展电阻探针法

英文名称：Test method for measuring resistivity of silicon wafer using spreading resistance probe

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

代替标准：GB/T 6617-1995

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：