标准编号：GB/T 14146-2009

中文名称：硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法

英文名称：Silicon epitaxial layers-determination of carrier concentration-mercury probe voltages-capacitance method

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

代替标准：GB/T 14146-1993

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：