标准编号：GB/T 6621-2009

中文名称：硅片表面平整度测试方法

英文名称：Testing methods for surface flatness of silicon slices

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

代替标准：GB/T 6621-1995

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：