标准编号：GB/T 14141-2009

中文名称：硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法

英文名称：Test method for sheet resistance of silicon epitaxial, diffused and ion-implanted layers using a collinear four-probe array

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

代替标准：GB/T 14141-1993

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：