标准编号：SJ/T 10627-1995

中文名称：通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法

英文名称：

发布日期：1995-04-22

实施日期：1995-10-01

代替标准：None

标准类别：无

采标号：

采标名称：

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：