标准编号：GB/T 25755-2010

中文名称：真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量

英文名称：Vacuum technology - Sputter-ion pumps - Measurement of performance characteristics

发布日期：2010-12-23

实施日期：2011-10-01

代替标准：

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：