标准编号：GB/T 14847-2010

中文名称：重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法

英文名称：Test mothod for thickness of lightly doped silicon epitaxial layers on heavily doped silicon substrates by infrared reflectance

发布日期：2011-01-10

实施日期：2011-10-01

代替标准：GB/T 14847-1993

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：