标准编号：GB/T 26068-2010

中文名称：硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法

英文名称：Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers by non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance

发布日期：2011-01-10

实施日期：2011-10-01

代替标准：

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：