标准编号：GB/T 26070-2010

中文名称：化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法

英文名称：Characterization of subsurface damage in polished compound semiconductor wafers by reflectance difference spectroscopy method

发布日期：2011-01-10

实施日期：2011-10-01

代替标准：

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：