标准编号：GB/T 26111-2010

中文名称：微机电系统（MEMS）技术 术语

英文名称：Micro-electromechanical system technology - Terms

发布日期：2011-01-10

实施日期：2011-10-01

代替标准：

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：