标准编号：GB/T 25915.6-2010

中文名称：洁净室及相关受控环境 第6部分：词汇

英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments - Part 6: Vocabulary

发布日期：2011-01-14

实施日期：2011-05-01

代替标准：

标准类别：

采标号：ISO 14644-6：2007

采标名称：洁净室及相关受控环境 第6部分:词汇

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：