标准编号：GB/T 15871-1995

中文名称：硬面光掩模基板

英文名称：Hard surface photomask substrates

发布日期：1995-12-22

实施日期：1996-08-01

代替标准：

标准类别：

采标号：SEMI P1:1992

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：