标准编号：GB/T 15873-1995

中文名称：半导体设施接口技术文件编写导则

英文名称：Directives for drafting semiconductor facilities interface specification

发布日期：1995-12-22

实施日期：1996-08-01

代替标准：

标准类别：

采标号：SEMI E6:1992

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：