标准编号：GB/T 28276-2012

中文名称：硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范

英文名称：Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for the dissolved wafer process

发布日期：2012-05-11

实施日期：2012-12-01

代替标准：

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：