标准编号：GB/T 28632-2012

中文名称：表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定

英文名称：Surface chemical analysis － Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy － Determination of lateral resolution

发布日期：2012-07-31

实施日期：2013-02-01

代替标准：

标准类别：

采标号：ISO 18516:2006

采标名称：表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：