标准编号：GB/T 16523-1996

中文名称：圆形石英玻璃光掩模基板规范

英文名称：Specification for round quartz photomask substrates

发布日期：1996-09-09

实施日期：1997-05-01

代替标准：

标准类别：

采标号：SEMI P4:1992

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：