标准编号：GB/T 16527-1996

中文名称：硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范

英文名称：Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates

发布日期：1996-09-09

实施日期：1997-05-01

代替标准：

标准类别：

采标号：SEMI P3:1990

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：