标准编号：GB/T 16524-1996

中文名称：光掩模对准标记规范

英文名称：Specification for registration marks for photomasks

发布日期：1996-09-09

实施日期：1997-05-01

代替标准：

标准类别：

采标号：SEMI P6:1988

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：