标准编号：GB/T 16596-1996

中文名称：确定晶片坐标系规范

英文名称：Specification for establishing a wafer coordinatesystem

发布日期：1996-11-04

实施日期：1997-04-01

代替标准：

标准类别：

采标号：SEMI M20:1992

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：