标准编号：GB/T 16879-1997

中文名称：掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则

英文名称：Guidelines for precision and accuracy expression for mask writing equipment

发布日期：1997-06-20

实施日期：1998-03-01

代替标准：

标准类别：

采标号：SEMI P21:1992

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：