标准编号：GB/T 16880-1997

中文名称：光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则

英文名称：Guidelines for photomask defect classification and size definition

发布日期：1997-06-20

实施日期：1998-03-01

代替标准：

标准类别：

采标号：SEMI P22:1993

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：