标准编号：GB/T 16878-1997

中文名称：用于集成电路制造技术的检测图形单元规范

英文名称：Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture

发布日期：1997-06-20

实施日期：1998-03-01

代替标准：

标准类别：

采标号：SEMI P19:1992

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：