标准编号:DB1310/T 227—2020
中文名称:电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术规范
英文名称:
发布日期:2020-10-16
实施日期:2020-11-16
代替标准:None
标准类别:通用
采标号:
采标名称:
采标程度:
采标类型:
ICS:
CCS: