标准编号:DB31/ 506-2020
中文名称:集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额
英文名称:
发布日期:2020-09-25
实施日期:2020-12-01
代替标准:DB31/ 506-2010
标准类别:环保标准
采标号:
采标名称:
采标程度:
采标类型:
ICS:
CCS: