标准编号：GB/T 32495-2016

中文名称：表面化学分析 二次离子质谱 硅中砷的深度剖析方法

英文名称：Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Method for depth profiling of arsenic in silicon

发布日期：2016-02-24

实施日期：2017-01-01

代替标准：

标准类别：

采标号：ISO 12406:2010

采标名称：表面化学分析 二次离子质谱 硅中砷的深度剖析方法

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：